產(chǎn)品型號(hào) | KT-S2-F3B50 |
產(chǎn)品名稱 | 石英舟裝卸片機(jī)(離線式) |
生產(chǎn)工藝 | 離線式,擴(kuò)散(退火)工藝,石英舟裝卸片機(jī) |
設(shè)備功能 |
將經(jīng)過工藝處理后的石英舟內(nèi)的硅片自動(dòng)化取出裝籃, 并將沒經(jīng)過工藝處理的硅片自動(dòng)化從花籃中取出裝入石英舟 |
適用硅片 | |
單晶/多晶 | 單晶多晶兼容 |
外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
厚度 | 160μm-220μm |
工裝 | |
石英舟工裝 | 可定制 |
花籃工裝 | 4.76×100槽或4.76×50槽,其他也可根據(jù)石英舟定制。 |
設(shè)備運(yùn)行能力 | |
實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能(凈產(chǎn)能) | ≥8000片/小時(shí) |
正常運(yùn)行時(shí)間(up time) | ≥98% |
平均故障時(shí)間(MTBF) | MTBF≤500小時(shí) |
平均故障修復(fù)時(shí)間(MTTR) | MTTR≥1小時(shí) |
碎片率 | ≤0.03% ,A片(不含爐內(nèi)碎、不含本身隱裂、線痕等缺陷片) |
動(dòng)力要求 | |
電源 | AC220V,50HZ |
功率 | 6KW |
壓縮空氣 | 0.6MPA,主氣路管道直徑≥20mm,連接氣管直徑≥12mm |
環(huán)境 | |
溫度/濕度 | 0-35℃,40%-60% |
潔凈度 | 符合十萬級(jí)潔凈區(qū)規(guī)范要求 |
噪音 | ≤60db |
設(shè)備結(jié)構(gòu) | |
整機(jī)重量 | 3500KG |
外形尺寸(mm) | 長×寬×高(3400mm×2200mm×2450mm) |
設(shè)備操作方位 | 面向龍門架,觸摸屏在左側(cè)是左手機(jī),觸摸屏在右側(cè)是右手機(jī) |
花籃工位 | 四工位 |
石英舟工位 | 單工位 |
花籃裝卸方式 |
人工裝卸:人工裝卸時(shí),手工直接將花籃放置于花籃工作臺(tái)。 花籃進(jìn)出動(dòng)作可同時(shí)進(jìn)行。 |
石英舟裝卸方式 | 同側(cè)手動(dòng)裝卸 |