| 產(chǎn)品型號 | PEB-67LL |
| 產(chǎn)品名稱 | |
| 生產(chǎn)工藝 | 板式PECVD工藝 |
| 設(shè)備功能 | 將沒經(jīng)過板式PECVD工藝處理的硅片自動化取出裝入碳框載板，并將經(jīng)過工藝處理后的碳框載板內(nèi)的硅片自動化取出裝籃。 |
| 適用硅片 | |
| 單晶/多晶 | 兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工裝 | |
| 硅片花籃 |
片數(shù)=100、片距=4.76 使用江松花籃或客戶自有花籃（客戶提供圖紙，實物需滿足圖紙公差要求） |
| 硅片載板 | 6×7石墨框（客戶提供圖紙，實物需滿足圖紙公差要求） |
| 設(shè)備運行能力 | |
| 實際運行產(chǎn)能（凈產(chǎn)能） | ≥7000片/小時（6×7石墨框） |
| 正常運行時間（up time） | 98% |
| 平均故障時間（MTBF） | MTBF≥500小時 |
| 平均故障修復(fù)時間（MTTR） | MTTR≤1小時 |
| 碎片率 | ≤0.06%（不含本身隱裂，線痕等缺陷片）A片 |
| 動力要求 | |
| 電源 | AC 220V 單相50HZ |
| 功率 | 10KW |
| 壓縮空氣 | ≥0.6Mpa、主氣路管道直徑≥16mm(需提供四路進(jìn)氣) |
| 環(huán)境 | |
| 溫度/濕度 | 0~35℃/40%~60% |
| 潔凈度 | 符合十萬級潔凈區(qū)相關(guān)規(guī)范要求 |
| 噪音 | ≤60dB |
| 設(shè)備結(jié)構(gòu) | |
| 整機(jī)重量 | 5000kg |
| 外形尺寸（mm） | 5380×4780×2550（長×寬×高） |
| 設(shè)備操作方位 | 見方案圖 |
| 硅片上料通道數(shù)量 | 通道數(shù)=3 |
| 硅片下料通道數(shù)量 | 通道數(shù)=3 |
| 硅片上料方式 | 花籃式上料（手動裝卸、空花籃自動流轉(zhuǎn)） |
| 硅片下料方式 | 花籃式下料（手動裝卸、空花籃自動流轉(zhuǎn)） |
| 載板物流方向 | 上層：進(jìn)主工藝機(jī)、下層：出主工藝機(jī) |
| 載板對接上層高 | 上層高=1080 |
| 載板對接下層高 | 下層高=450 |
Su Gong An 32021402000985