產(chǎn)品型號(hào) | PEG-2L2L-SA8 |
產(chǎn)品名稱 | |
生產(chǎn)工藝 | 離線管式PECVD裝卸片機(jī) |
設(shè)備功能 |
將經(jīng)過(guò)管式PECVD工藝處理后 的石墨舟內(nèi)的硅片自動(dòng)化取 出裝籃,并將沒(méi)經(jīng)過(guò)工藝處 理的硅片自動(dòng)化裝入石墨舟。 |
適用硅片 | |
單晶/多晶 | 兼容 |
外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
厚度 | 160μm-220μm |
工裝 | 花籃-石墨舟-小推車(chē) |
硅片堆疊盒 |
花籃下料無(wú)堆疊盒,堆疊下料 時(shí)為江松自制堆疊盒 |
設(shè)備運(yùn)行能力 | |
實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能(凈產(chǎn)能) |
≥4500片/小時(shí)(26片以上舟片的石墨舟,所有的產(chǎn)能都基于 主設(shè)備的產(chǎn)能,主設(shè)備的產(chǎn)能不 足則以主設(shè)備的產(chǎn)能為準(zhǔn)) |
正常運(yùn)行時(shí)間(up time) | 98% |
平均故障時(shí)間(MTBF) | MTBF≥300小時(shí) |
平均故障修復(fù)時(shí)間(MTTR) | MTTR≤2小時(shí) |
碎片率 | ≤0.08% (單晶A類(lèi)片,不含主機(jī)碎片) |
動(dòng)力要求 | |
電源 |
8KW 史陶比爾:380V三相五線制50HZ ABB:220V 50HZ |
壓縮空氣 |
壓力:06Mpa 流量:500L/Min 接口:Ф16軟管 |
環(huán)境 | |
溫度/濕度 | 0~35°C 40%~60% |
潔凈度 | 符合十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)相關(guān)規(guī)范要求 |
噪音 | ≤60db |
設(shè)備結(jié)構(gòu) | |
整機(jī)重量(單位:噸) | 5 |
外形尺寸(mm) | 長(zhǎng)7300寬2350高2100(參考) |
設(shè)備操作方位 | 可左可右 |
硅片通道數(shù)量 | 4 |
硅片通道間距 | 上料間距322mm下料間322mm |
對(duì)接處花籃離地高 | 下層450mm上層1160mm |